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新松半導(dǎo)體正在真空機械手領(lǐng)域掀起一場國產(chǎn)替代的風(fēng)暴。

在半導(dǎo)體工藝整機裝備中，最核心的零部件就是真空機械手及集束型設(shè)備，它們作為晶圓傳輸設(shè)備，被廣泛應(yīng)用于晶圓制造與封裝測試等全工藝流程產(chǎn)業(yè)鏈中。

新松半導(dǎo)體總經(jīng)理程龍表示，真空機械手系列產(chǎn)品的自主可控將進一步緩解半導(dǎo)體整機裝備的“卡脖子”問題。據(jù)了解，新松半導(dǎo)體是創(chuàng)業(yè)板上市公司機器人（新松機器人）的控股子公司，于2023年2月份成立。

現(xiàn)階段，新松半導(dǎo)體的主要產(chǎn)品是真空類晶圓傳輸產(chǎn)品和大氣類晶圓傳輸產(chǎn)品，前者包括真空機械手、真空傳輸平臺及部件，后者包括大氣潔凈機械手等。

從市場來看，中國真空機械手市場一度被美國公司壟斷，該領(lǐng)域技術(shù)門檻極高，但新松半導(dǎo)體正在這一領(lǐng)域掀起一場國產(chǎn)替代的風(fēng)暴。“我可以非常自豪地說，目前在技術(shù)領(lǐng)域，新松機器人和美國公司已經(jīng)沒有斷層式差距，甚至在逐步迎頭趕上。更重要的是，我們團隊400多人平均年齡還不到30歲，是非常年輕的團隊，潛力巨大。”程龍表示。

得益于技術(shù)追趕，新松機器人吸引了國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、拓荊科技、華海清科等戰(zhàn)略投資者。綁定戰(zhàn)略合作客戶，促成了新松半導(dǎo)體與戰(zhàn)略客戶從業(yè)務(wù)到資本的深度合作，形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展效應(yīng)。以此為契機，新松半導(dǎo)體系列產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代和市場推廣也得以加速。

程龍?zhí)岬剑M管新松半導(dǎo)體自主研制真空機械手及集束型設(shè)備已達到國際同等水平，部分指標還優(yōu)于國外設(shè)備，但是在一致性和可靠性方面還有進一步提升的空間。在市場方面，半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)投入大、試錯成本高、驗證周期長、國內(nèi)客戶對國產(chǎn)供應(yīng)鏈的信心不足等客觀問題仍在阻礙國內(nèi)企業(yè)進一步開拓市場。

展望未來，程龍對新松半導(dǎo)體超越海外公司，拿下國內(nèi)市場份額第一充滿自信。他說：“我們希望在2027年到2028年，在中國能拿到第一，我們整個團隊的目標非常清晰，現(xiàn)在就是一路狂奔。”

校對：冉燕青